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多真空工艺场景扩容,高精度 CDG 电容薄膜真空计市场需求持续增长

高精度电容薄膜真空计(CDG)是真空工艺装备核心传感部件,应用覆盖功率半导体封测、PVD/CVD 真空镀膜、新能源真空设备、高校及科研院所真空实验平台。

1. 功率半导体封测:真空共晶、真空塑封腔体实时压力监测,保障批量器件封装工艺一致性;

2. 真空镀膜设备:精准控制腔体真空度,保障薄膜沉积均匀性与成品良率;

3. 科研实验室:各类真空试验腔体,对传感器长期稳定性、压力响应速度提出严苛指标。

下游产业扩产带动真空监测元器件需求,市场分为两大板块:新设备整机配套,存量设备维保备件替换。国产 CDG 产品需完整完成样品测试、小批量试产、长期稳定性考核,最终实现批量供货。

本文为 CHFG 行业观察,基于真空测量产业市场现状整理,仅供行业交流参考。

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2026-09-01