高性能数字化耐腐电容薄膜真空计｜CHFG-D系列

核心特点
1. 量程：0.1 Torr～1000 Torr
2. 读数精度0.25%
3. 双模输出：0-10VDC模拟 + EtherCAT®数字通信
4. 耐腐定制传感器，适配刻蚀、含氟腐蚀性气体环境
5. 多温度加热配置可选

技术参数
测量类型：绝对压力
量程：0.1 Torr ~ 1000 Torr
测量精度：0.25% 读数
信号输出：0-10 VDC模拟 + EtherCAT®高速数字通信
传感器特性：可选耐氟/刻蚀专用耐腐蚀传感器
加热配置：多档加热温度可选
核心架构：集成高精度传感单元、EtherCAT工业控制芯片